半导体硅晶片生产行业过程中,蚀刻晶片需要用一定浓度的碱液(NaOH和KOH)。这个浓度需要精确的和可重复的蚀刻过程测量和控制。
德国的Rhotec传感器适用于
- 硅晶片生产电子芯片
- 测量NaOH和KOH在[w/w% ]
- 蚀刻液浓度的Rhotec自动控制
测量原理
在线Rhotec-E密度传感器/传送器精确测量液体的密度,可以在极端工艺条件状态下使用。当样品经过U型管,振荡频率发生变化并测量相应的振荡频率,温度探头PT1000作温度补偿,测出的振荡频率转换为密度并显示w/w%,v/v%,Brix(白利糖度),萃取率%或其他可测量介质的密度。使用此装置可记录分析液体的密度变化,尤其溶解性物质和非溶解性物质的混合物,如有机和无机混合物。
技术参数:
测量范围 0~3 g/cm3 过程连接 3/8”螺纹
精度 ±0.0001 g/cm3 传感器连接 现场总路线DP
重现性 ±0.00001 g/cm3 输入 2*digital(24VDC)
响应时间 ≤ 1s 输出 3*digital(24VDC)
2*analog(4~20mA)
温度传感器 Pt1000 可选 现场总线DP
温度范围 -25~125℃ 外壳防护等级 IP65
压力 最大50bar 电源 24VDC
接触样品的材质 哈氏合金C276,蒙乃尔合金400,
耐热铬镍铁合金825,
不锈钢1.4571,钽等 爆炸防护(可选) Ex Ⅱ 2G Eex d ⅡC T6
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链接:https://www.instrument.com.cn/news/20130514/100173.shtml
来源:仪器信息网
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